(真空泵在半导体的作用)

罗茨真空泵被广泛地应用于真空获得的各个方面,特别适合于低入口压力下需要大抽速的真空系统中使用,例如电力变压器电力电容器电力互感器的真空干燥真空浸渍处理真空热处理真空冶炼的排气真空镀膜设备的预抽,大型。为了使国产滑阀泵能够进入国际市场,必须进一步降低泵的振动噪声,杜绝喷油和漏油,提高滑阀泵长期运行的可靠性直联旋片...