包含smc真空泵系统的词条

1、国产化进程的挑战与机遇国内厂商在真空腔体制造方面已取得一定突破,实现了自主供应,但半导体真空泵技术上仍以海外主导为特征阀门市场则呈现出不同景象,半导体专用阀门需求增长,国产技术虽有所提升,但技术门槛仍较高,市场主要由进口真空阀占据,VAT占据了75%的份额,MKSVTEXCKDSMC和Ulvac等国际;从而影...