气体输送泵包括变容真空泵如往复式旋片式和动量传输泵如分子泵喷射泵扩散泵离子输运泵气体捕集泵包括吸附泵吸气剂泵吸气剂离子泵低温泵等2按真空度分类粗真空泵高真空泵和超高真空泵，其中高真空泵包括滑阀式旋片式罗茨真空泵3按结构分类。真空泵的参数1抽气速度PumpingSpeed抽气速度是真空泵每单位时间内抽取气...