螺杆真空泵成为实现目标的装备之一干式真空泵，包括罗茨真空泵爪形真空泵螺杆真空泵涡旋真空泵等，其抽气原理是靠自啮；双螺杆真空泵现真空度可达到20kpa绝压，且40kpa绝压以上不同真空度下的功率相差不大2紧凑Compact双螺杆真空泵比。螺杆真空泵常见到问题螺杆真空泵可以分为卧式泵和立式泵二大类其中卧式泵最为常见，...