低温真空泵的现状与前景

分子泵高速刚体表面来携带气体分子实现抽气现在以多级复合分子泵为主蒸汽喷射泵通过喷嘴喷射高速蒸汽进入吸入室,吸入室内的气体被强制携带从而使吸入室口形成真空主要有水蒸气喷射泵和扩散泵气体捕集泵主要依靠低温冷凝,让气体丧失动能进行吸附和捕集,或等离子作用进行捕集主要有低温泵;真空泵的结构与传动方式匠心独运真空泵的结构设...