1、1真空度的达成依赖于所使用的真空泵的类型和级数目前，机械泵作为前级，罗茨泵作为二级泵，扩散泵作为三级泵，共同作用下可以达到10^11Pa的真空度2随着科技的进步，分子泵冷凝泵等新型真空泵被发明出来，进一步拓宽了真空技术的应用范围3不同类型的真空泵有其特定的工作范围例如。2、其次是空气射流真空泵，可以使...