真空干泵工作原理

爪型干式真空泵的设计理念是结合多级转子的串联配置,以及罗茨转子与多级转子的复合结构以曌越爪泵为例,其工作原理主要体现在以下几个方面1曌越爪泵的泵腔分为四级,转子以串联方式布置于各泵腔内每个泵腔配备有两对爪型转子,它们以同步且反向的运动相互配合2在泵的第一级,也就是吸气;1干式螺杆真空泵的设计理念使其在众多真空...