该仪器的主要原理是配备质谱仪，质谱仪能够检测生长腔室内每种源炉喷射出的分子的质量大小不同质量的分子将产生不同的信号；涡轮分子泵TurbomolecularPumps原理高速旋转叶片转速可达数万转分钟撞击气体分子，将其推向出口设备需搭配前级。2动量真空泵的工作原理是将动量传递给气体分子，使气体由入口不断地输送到出...