不同半导体设备的核心零部件有所不同例如光刻机的核心零部件包括工作台投影物镜光源等，而等离子体真空设备PVDCVD刻蚀的核心零部件包括MFC射频电源真空泵ESC等这些核心部件的精确配合和高效工作，是保证半导体设备性能的关键此外，随着技术的发展，半导体设备的复杂性不断提高。真空泵是一种用于产生真空的机械设备，广泛...