1、真空泵与半导体行业11真空泵描述真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善产生和维持真空环境的装置，根据真空等级所用的。2、真空获得设备，即获得改善和或维持真空环境的装置，主要指真空泵，是真空技术中最关键的设备种类真空相关知识真空是指。3、干式真空泵目前在半导体领域推广的干式真空泵主要为多级罗茨真空泵爪式真...