真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求如真空镀膜要求1*105mmHg的真空度正确地选择真空泵的工作点每种泵都有一定的工作压强范围，如扩散泵为103~107mmHg，在这样宽压强范围内，泵的抽速随压强而变化真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量。...