摘要螺杆干式真空泵在一个泵腔内实现多级压缩，并且不使用液体密封，是“双碳”目标下气体输运的优秀装备本文分析了螺杆干。按真空泵的工作原理，基本可以分为两种类型气体传输泵和气体捕集泵其中芯片厂主要用于wafer的吸取及移动以及如下设备。台帐资料参考目录1公司简介2公司营业执照3公司厂区大门污水治理废气治理设施...