1、因此，为了降低水蒸气对机械泵抽真空效果的影响，气镇泵在排气口附近设计一个可自动开合的小孔小孔能够向排气空间通入少量干；无振动耐高温耐辐射更稳定，无需电源也可正常抽空超高真空用复合泵离子泵和NEG复合，可以获得；在超高真空系统中使用一般需要配备电磁阀用于防止意外断电造成返油和分子筛吸附作用近年来用得较多的是涡...