(罗茨真空泵的工作原理图)

罗茨水环真空机组选用水环泵作为前级泵比其它真空泵更为有利,它克服了单台水环泵使用时极限压力差机组的极限压力比水环泵有很大的提高,在一定压力下抽气速率低的缺点,同时保留了罗茨泵能迅速工作,有较大抽气速率。随后气体进入左半部,由于毂环之间容积被逐渐压缩而增高了压强,于是气体经排气空间及排气管被排至泵外罗茨真空泵的工作...