103帕以上多台罗茨泵和螺杆真空泵的串联真空度取决于泵的类型和连接方式，可以达到103帕以上罗茨泵与螺杆泵的转动部件都是不接触件，机组具备运转平稳噪音低振动小，结构紧凑占地面积小等优点。升秒1升=103米3极限真空单级为65×102帕，双级为1×103帕。极限真空0097MPa，工作真空度0，085~008M...