可以用干式真空干泵的，如果对抽速要求不是很高可以用AgilentSH110干泵，抽速要求高的话可以选择安捷伦的其他型号；像贝克的真空泵对环境要求还是比较严格的，冒烟问题可以拆下真空泵油雾分离器更换这个配件就可以解决这个问题了，顺便要检查一下泵油，如果泵油有杂质，建议使用同型号真空泵油更换，这样能有效减少冒烟的概率...