3真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量4正确地组合真空泵由于真空泵有选择性抽气，因而，有时选用一种泵不能满足抽气要求，需要几种泵组合起来，互相补充才能满足抽气要求如钛升华泵对氢有很高的抽速，但不能抽氦，而三极型溅射离子泵，或二极型非对称。真空泵是指利用机械物理化学或物理化学的方法对被抽...