1、污染控制较好的扩散泵系统，可以得到1010Pa的真空度涡轮分子泵抽气系统涡轮分子泵可以串联干式机械泵组成无油超高真空系统，不烘烤可以实现106Pa的真空度，经烘烤可以达到108Pa的真空度如果串联扩散泵作为前级泵，降低前级管道中的氢分压，配合钛升华阱可以获得高于109Pa以上的真空度由于涡。2、1水环式真空泵...