对罗茨真空泵机组的极限压力的要求，也是选择前级泵的必须考虑的，对极限真空度要求较高达1X103Pa～1X102Pa压力一般选用双级旋片式油封机械泵或双级滑阀机械泵作为前级泵极限真空度要求在1X102Pa～1X101Pa之间可选用单级油封机械泵作为前级泵，极限真空度要求在133～1333Pa之间可选用。主要有W...