爱德华兹真空泵维护保养内容

为了提高泵的极限真空度，可将罗茨泵串联使用罗茨泵的工作原理与罗茨鼓风机相似由于转子的不断旋转，被抽气体从进气口吸入到转子与泵壳之间的空间v0内，再经排气口排出由于吸气后v0空间是全封闭状态，所以，在泵腔内气体没有压缩和膨胀 但当转子顶部转过排气口边缘，v0空间与排气侧相通时，由。