选择滑阀真空泵与ZJP罗茨泵的最佳配置,需要考虑罗茨泵的抽气量比如,对于ZJ300或ZJ600型号的罗茨泵,建议搭配H70型号的滑阀真空泵而对于更大容量的ZJ1200型号罗茨泵,则推荐使用H150型号的滑阀真空泵对于更高需求的情况,如ZJ2500型号的罗茨泵,可以考虑使用ZJ300+H150这一组合。
一般最高可达到005Pa,如果还不能满足要求,可在罗茨泵上方再串联油扩散泵,极限真空度可达00001Pa,但其价格较高,建议选用罗茨旋片真空机组,目前国内做的最小的罗茨旋片机组为ZJ15罗茨真空泵15Ls+“2X-4”旋片式真空泵此类真空机组可考虑到上海一带购买。
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