4 Kashiyama坚山工业1951年成立的日本公司,主要业务包括半导体真空设备和滑雪设备管理咨询坚山工业的真空设备在半导体制造业和液晶显示制造业中得到广泛应用5 LOT Vacuum艾洛特通过与三星的投资合作,实现了干式真空泵国产化95%以上,成为中国半导体设备领域的重要企业6 汉钟1994年。
4 干式泵如涡旋泵分子泵和离子泵,在工作过程中不使用液体介质,适合高清洁度环境,如半导体制造5 非干式泵如旋片泵和扩散泵,通过液体介质传递机械能,效率较高,适用于工业生产中的多种真空需求6 低真空泵如旋片泵涡旋泵和罗茨泵,用于一般生产环境的初步抽真空7 高真空泵。
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