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5 LOT Vacuum艾洛特通过与三星的投资合作，实现了干式真空泵95%以上的国产化，成为国内半导体设备领域的佼佼者6 汉钟成立于1994年，是中国螺杆式压缩机的龙头，2010年起向真空泵领域延伸，下游客户涵盖光伏和半导体行业，成功打开了第二成长曲线7 中国科学院沈阳科学仪器股份有限公司沈。