离子泵真空度极限

真空泵是指利用机械物理化学或物理化学的方法对被抽容器进行抽气而获得真空的器件或设备通俗来讲，真空泵是用各种方法在某一封闭空间中改善产生和维持真空的装置 按真空泵的工作原理，真空泵基本上可以分为两种类型，即气体捕集泵和气体传输泵其广泛用于冶金化工食品电子镀膜等行业气体传输泵气体传；工作原理是水泵启动前先在泵壳内灌满水或泵壳内自身存有水启动后叶轮高速旋转使叶轮槽道中的水流向涡壳，这时入口形成真空，使进水逆止门打开，吸入管内的空气进入泵内，并经叶轮槽道到达外缘另一方面，被叶轮排到气水分离室中的水又经左右回水孔流回到叶轮外缘左回水孔流回的水在在。

离子泵的使用寿命与运行压力成反比，从1E6 mbar的50，000小时到1E4 mbar的1100，这表明适当的启动压力对泵的寿命至关重要为了确保真空室达到极低压力，加热器的安装不可或缺它在预抽阶段有助于释放泵内捕获的气体，使泵处于非饱和状态，有利于泵的性能表现对于小型离子泵，由于成本和空间；真空泵是一种将容器内气体或蒸气排出的装置，通过减少容器内气体分子数来达到制造真空的目的其工作原理可以分为两种类型位移式真空泵通过使泵腔内的体积周期性变化，使气体被吸入和压缩，然后被排出它可以进一步分为旋片式回转式活塞式等分子泵通过高速旋转的转子将气体分子从进气口抽入。

离子泵真空度开启

如果烘烤中真空腔内的真空度处于103Pa或更差，则应该关闭离子泵烘烤接近结束，真空度达到104Pa时，再启动离子泵。

真空离子泵工作原理

1、1产生电流信号沈科仪电离器会将气体分子电离为正离子，正离子受到加速器的加速作用后撞击到收集器上，产生电流信号2转化为电压信号收集器上的电流信号经过放大和处理后，会转化为相应的电压信号，电压信号与沈科仪离子泵的真空度有对应关系。

2、分子泵和离子泵都属于真空泵分子泵和离子泵属于不同原理的两种泵，两种泵的最大区别就是真空度的不同，一般用分子泵来实现高真空，用离子泵来实现超高真空。

3、钛大量吸氢后由于放热反应钛板温度上升，达到250oC以后，除重新释放氢之外并导致钛板晶格膨胀造成龟裂通常需加大钛板的散热能力来改善溅射离子泵对氢的排除能力要提高对氢的抽速，需保持钛板表面清洁，选用晶格常数较大的βTi或钛合金作为阴极板，或引入与氢可比拟的氩含量因氩的溅散产额高，可。