光刻机真空泵的作用

或者让中国芯直接避开光刻机，用普通的设备来造出芯片也未可知~ 了解石墨烯特性 用手套箱进行安全研发 石墨烯Graphene 是一种由碳原子以sp#x00B2杂化轨道组成六角型呈蜂巢晶格的二维碳纳米材料 石墨烯具有优异的光学电学力学特性，在材料学微纳加工能源生物医学和药物传递等方面具有重要的应用前景。

光刻机怎么制造芯片下面来了解下一光刻机的种类有哪些1接触式曝光ContactPrinting掩膜板直接与光刻胶层接触曝光出来的图形与掩膜板上的图形分辨率相当，设备简单接触式，根据施加力量的方式不同又分为软接触，硬接触和真空接触1软接触就是把基片通过托盘吸附住类似于匀胶机。

主要原理如下1真空室光刻机的真空室是一个密闭的腔体，其中通过真空泵抽取空气使之达到高度真空状态，以保证光刻工艺的顺利进行2真空泵真空泵的作用是将真空室内的气体抽出，使气压低于大气压，进而产生真空环境常见的真空泵包括机械泵扩散泵等3压力传感器压力传感器用于实时测量并反。

光刻机真空泵等各类高端装备各节点一站式的技术服务无论您是业主还是厂商，如您有新能源锂电光伏半导体设备安装包装。

点击上方“蓝字”，关注更多精彩1罗茨真空泵与水环真空泵区别1性能特点不同罗茨真空泵的特点是启动快，耗功少，运转维。

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刻蚀相对光刻要容易光刻机把图案印上去，然后刻蚀机根据印上去的图案刻蚀掉有图案或者没有图案的部分，留下剩余的部分“光刻”是指在涂满光刻胶的晶圆或者叫硅片上盖上事先做好的光刻板，然后用紫外线隔着光刻板对晶圆进行一定时间的照射原理就是利用紫外线使部分光刻胶变质，易于腐蚀。

此次技术突破意义重大，不仅为光刻制造领域的共性难题找到了新的解决方案，同时也为极紫外线光刻机光刻胶的研发奠定了坚实的基。