半导体真空泵进入台积电

真空泵流量计是一种用于测量真空泵排出气体的仪器其原理是通过检测气体流量，计算出真空泵排出气体的体积真空泵流量计的原理可以分为多种类型，其中常见的有以下两种1 流量计式真空计基于气体热导率和热容的原理，测量从真空泵中排出的气体热传导至流量计导体上的热量，根据传导到流量计导体上的。

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