真空泵如何选用电机

5真空泵的工作压强应该满足真空设备的极限真空及工作压强要求通常选择真空泵泵的真空度要高于真空设备真空度半个到一个数量级6真空泵在其工作压强下，应能排走真空设备工艺过程中产生的全部气体量7真空泵工作时产生的振动对工艺过程及环境有无影响若环境不允许，应选择无振动的泵或者采取减震；真空泵选型，方法1首先应该充分了解被抽气体成分如气体中含不含可凝蒸气有无颗粒灰尘有无腐蚀性爆炸性等如果气体中含有蒸气颗粒及腐蚀性气体，应该考虑在泵的进气口管路上安装辅助设备，如冷凝器除尘器等如抽取气体还有腐蚀性，则须选用材质若抽取的气体具有爆炸性，则应该选择水环。

如真空工艺要求100Pa的真空度，选用真空泵的真空度至少要50Pa10Pa一般如果要求绝对压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果绝对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环式真空泵，选择旋片式真空泵或更高真空级别的真空泵作为真空获得装置2工艺要求的抽气量抽气速率真空泵；一真空泵选型中，确定的产品需保证能顺利抽出工艺过程中释放出来的各种气体真空泵的应用工艺中，气体介质多种多样，易燃易爆的易凝结的易化反易腐蚀的等，选用的真空泵就需保证适用性例如，工艺过程会产生大量水蒸气，选用的真空泵就必须适合抽水蒸气二真空泵的极限真空度，必须高于工艺。

在划定的几个可选系列中，再根据对流量和真空度的要求就可以确定具体的型号了对于质量欠佳的产品未列入本文，尽量不要选用注意参数选择要留有余量，特别是流量参数泵接入气路系统后，由于管道阀门等气路元件要造成压力损失，会衰减流量，因此得到的流量小于泵的标称流量。

真空泵的选用原则

若薄膜沉积设备的工作气压为001 Pa，需要选用适合的真空泵来实现所需的工作压力以下是一些常见的真空泵类型供您参考1 油封旋片式真空泵Rotary Vane Pump油封旋片式真空泵是常用的一种真空泵，适用于中等真空范围它通过旋转的叶片和油封来产生真空一般情况下，该类型的真空泵可以达到较。

真空泵的工作压力应该满足工艺工作压力要求，选型时真空度要高于真空设备真空度的半个到一个数量级如真空工艺要求100pa绝对压力的真空度，选用真空泵的真空度至少要50pa10pa一般如果要求绝对压强高于3300Pa，则优先选择水环式真空泵作为真空装置，如果绝对压强要求低于3300Pa，则不能选择水环。

一根据真空室所需要建立的极限压力确定主泵的类型一般主泵极限压力的选取要比真空室的极限压力低半个到一个数量级二根据真空室进行工艺生产时所需要的工作压力选主泵真空泵选型中选择主泵的时候应正确地选择主泵的工作工艺环境，在其工作压力范围内，应能排除真空室内工艺过程中产生的全部气体。